高精度阻抗控制:高頻高速線路板要求電鍍層均勻性,以確保阻抗波動(dòng)控制在極小范圍內(nèi)。如選擇性電鍍金工藝通過(guò)脈沖電鍍,可使金層厚度偏差控制在 ±0.1μm,阻抗波動(dòng) ±3%。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過(guò)曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開(kāi)窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
圖形電鍍:加厚功能鍍層
優(yōu)先采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,在線路裸露區(qū)域沉積銅層(厚度 5-15μm),保證鍍層結(jié)晶細(xì)密、低電阻率。
關(guān)鍵區(qū)域(如射頻接口、連接器)需進(jìn)行選擇性電鍍,額外沉積金、銀等低損耗鍍層,厚度根據(jù)需求控制在 0.1-3μm。
電鍍過(guò)程中嚴(yán)格控制電流密度(1-5A/dm2)、鍍液溫度(20-30℃)及攪拌速度,確保鍍層均勻性與平整度。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學(xué)脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側(cè)蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
