信號性能相關故障
阻抗超標:高頻信號傳輸時阻抗波動超過 ±3%,導致信號反射、損耗增大。除了鍍層厚度不均,還可能是鍍層結晶結構不佳(如銅鍍層晶粒粗大),或線路側蝕嚴重破壞阻抗設計。
高頻損耗異常:插入損耗、回波損耗不達標,常見于脈沖電鍍工藝參數(shù)不當。比如脈沖頻率、占空比設置不合理,導致鍍層趨膚效應增強,信號衰減加劇。
工藝適配相關故障
線路橋連 / 短路:超細線路(≤10μm 線寬)間出現(xiàn)鍍層粘連,多因光刻膠顯影不徹底、電鍍時金屬離子過度沉積,或鍍液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔內(nèi)出現(xiàn)空洞、凹陷,影響層間導通和散熱。成因是鍍液流動性不足、電流密度未針對深寬比優(yōu)化,或添加劑中整平劑含量不足。
基材損傷:特殊基材(如 PTFE)出現(xiàn)翹曲、開裂,多因電鍍溫度過高(超過基材耐熱極限),或前處理化學藥劑腐蝕基材表面。
圖形轉移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉移到基材表面。
高頻高速板對圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導致鍍層錯位。
顯影后進行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
