前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
基材預處理:奠定結合與信號基礎
先進行除油脫脂,用堿性或中性清洗劑去除基材表面油污、指紋,避免影響鍍層附著力。
針對 PTFE、羅杰斯等特殊基材,需額外做等離子體活化 / 化學粗化,提升表面活性與粗糙度。
通過微蝕 + 水洗,去除表面氧化層,同時形成均勻微觀粗化面,增強后續(xù)種子層結合力。
圖形電鍍:加厚功能鍍層
優(yōu)先采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,在線路裸露區(qū)域沉積銅層(厚度 5-15μm),保證鍍層結晶細密、低電阻率。
關鍵區(qū)域(如射頻接口、連接器)需進行選擇性電鍍,額外沉積金、銀等低損耗鍍層,厚度根據(jù)需求控制在 0.1-3μm。
電鍍過程中嚴格控制電流密度(1-5A/dm2)、鍍液溫度(20-30℃)及攪拌速度,確保鍍層均勻性與平整度。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
