前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
圖形電鍍:通過(guò)光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對(duì)圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對(duì)于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
鍍層相關(guān)故障
鍍層不均勻 / 厚度偏差:高頻線路對(duì)厚度一致性要求,故障表現(xiàn)為局部鍍層偏厚或偏薄,直接導(dǎo)致阻抗波動(dòng)超標(biāo)。多因電流密度分布不均、鍍液攪拌不充分,或光刻膠開(kāi)窗精度偏差引發(fā)。
鍍層附著力差 / 脫落:后續(xù)焊接或使用中鍍層起皮、剝離,常見(jiàn)于羅杰斯等特殊基材。主要是前處理不徹底(殘留油污、氧化層),或基材未做等離子體活化處理,導(dǎo)致鍍層與基材結(jié)合力不足。
鍍層粗糙 / 針孔:表面出現(xiàn)顆粒狀凸起或微小孔洞,影響信號(hào)傳輸平滑性。成因包括鍍液雜質(zhì)過(guò)多、添加劑比例失衡,或電鍍時(shí)氫氣析出未及時(shí)排出。
鍍層氧化 / 變色:尤其銀鍍層易出現(xiàn)發(fā)黃、發(fā)黑,降低導(dǎo)電性。多因后處理未及時(shí)做防氧化涂覆,或儲(chǔ)存環(huán)境濕度、溫度超標(biāo)。
種子層沉積:構(gòu)建導(dǎo)電基底
采用物相沉積(PVD)或化學(xué)鍍,在絕緣基材表面沉積超薄導(dǎo)電層(銅或鎳)。
種子層厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆蓋均勻、無(wú)針孔,為后續(xù)圖形電鍍提供穩(wěn)定導(dǎo)電通道。
沉積后需做簡(jiǎn)易附著力檢測(cè),避免種子層脫落影響后續(xù)工藝。
