圖形電鍍:通過光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
常見鍍層材料及應(yīng)用
金:具有良好的導(dǎo)電性、耐腐蝕性和耐磨性,常用于高頻連接器、射頻接口等關(guān)鍵區(qū)域,鍍層厚度一般為 1-3μm。
銀:電阻率低,高頻損耗小,適用于普通信號焊盤和線路,鍍層厚度約 0.1-0.2μm,但需注意防氧化處理。
銅:作為基礎(chǔ)導(dǎo)電層,廣泛應(yīng)用于線路電鍍,厚度通常在 5-20μm,通過優(yōu)化電鍍工藝,可提高其信號傳輸性能。
種子層沉積:構(gòu)建導(dǎo)電基底
采用物相沉積(PVD)或化學(xué)鍍,在絕緣基材表面沉積超薄導(dǎo)電層(銅或鎳)。
種子層厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆蓋均勻、無針孔,為后續(xù)圖形電鍍提供穩(wěn)定導(dǎo)電通道。
沉積后需做簡易附著力檢測,避免種子層脫落影響后續(xù)工藝。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
