前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
表面處理:根據(jù)應用需求,選擇合適的表面處理工藝,如選擇性電鍍金 + 沉銀組合。先全板沉銀,再通過干膜掩膜保護,對關(guān)鍵區(qū)域進行選擇性電鍍金。
后處理:包括清洗、烘干、防氧化處理等,如在沉銀層表面涂覆一層有機防氧化劑,以延長其儲存壽命。
基材預處理:奠定結(jié)合與信號基礎
先進行除油脫脂,用堿性或中性清洗劑去除基材表面油污、指紋,避免影響鍍層附著力。
針對 PTFE、羅杰斯等特殊基材,需額外做等離子體活化 / 化學粗化,提升表面活性與粗糙度。
通過微蝕 + 水洗,去除表面氧化層,同時形成均勻微觀粗化面,增強后續(xù)種子層結(jié)合力。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導致鍍層錯位。
顯影后進行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護。
