圖形電鍍:通過(guò)光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對(duì)圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對(duì)于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
表面處理:根據(jù)應(yīng)用需求,選擇合適的表面處理工藝,如選擇性電鍍金 + 沉銀組合。先全板沉銀,再通過(guò)干膜掩膜保護(hù),對(duì)關(guān)鍵區(qū)域進(jìn)行選擇性電鍍金。
后處理:包括清洗、烘干、防氧化處理等,如在沉銀層表面涂覆一層有機(jī)防氧化劑,以延長(zhǎng)其儲(chǔ)存壽命。
基材預(yù)處理:奠定結(jié)合與信號(hào)基礎(chǔ)
先進(jìn)行除油脫脂,用堿性或中性清洗劑去除基材表面油污、指紋,避免影響鍍層附著力。
針對(duì) PTFE、羅杰斯等特殊基材,需額外做等離子體活化 / 化學(xué)粗化,提升表面活性與粗糙度。
通過(guò)微蝕 + 水洗,去除表面氧化層,同時(shí)形成均勻微觀粗化面,增強(qiáng)后續(xù)種子層結(jié)合力。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過(guò)曝光、顯影工藝,將線路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開(kāi)窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區(qū)域完全裸露、非線路區(qū)域被保護(hù)。
