表面平整度高:為減少信號散射,電鍍層需具備的表面平整度,特別是在微帶線、共面波導(dǎo)等結(jié)構(gòu)中,通常要求鍍層表面粗糙度 Ra圖形電鍍:通過光刻技術(shù)定義線路圖形,然后對圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線主體。對于高頻高速線路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
信號性能相關(guān)故障
阻抗超標(biāo):高頻信號傳輸時阻抗波動超過 ±3%,導(dǎo)致信號反射、損耗增大。除了鍍層厚度不均,還可能是鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)不佳(如銅鍍層晶粒粗大),或線路側(cè)蝕嚴(yán)重破壞阻抗設(shè)計。
高頻損耗異常:插入損耗、回波損耗不達(dá)標(biāo),常見于脈沖電鍍工藝參數(shù)不當(dāng)。比如脈沖頻率、占空比設(shè)置不合理,導(dǎo)致鍍層趨膚效應(yīng)增強(qiáng),信號衰減加劇。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學(xué)脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側(cè)蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
