當力作用于硅晶體時，晶體的晶格產(chǎn)生變形，使載流子從一個能谷向另一個能谷散射，引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應與晶體的取向有關。

1、靈敏度非常高，有時傳感器的輸出不需放大可直接用于測量；

2、分辨率高，例如測量壓力時可測出10～20Pa的微壓；

3、測量元件的有效面積可做得很小，故頻率響應高；

4、可測量低頻加速度和直線加速度。

傳感器是自動檢測系統(tǒng)主要的自動化裝置，其中還包括顯示器、數(shù)據(jù)處理裝置。它是用來感受被測量并且以一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可輸出信號的器件或裝置，還可以將被測參數(shù)轉(zhuǎn)換成一定且方便傳輸?shù)男盘?，如電信號或氣信號?/p>

硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應力區(qū)，另兩條處于拉應力區(qū)，相對于膜片中心對稱。?

此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條，兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構(gòu)成全橋。?