壓阻式傳感器是利用晶體的壓阻效應(yīng)制成的傳感器。當(dāng)它受到壓力作用時(shí),應(yīng)變?cè)碾娮璋l(fā)生變化,從而使輸出電壓發(fā)生變化。一般壓阻式傳感器是在硅膜片上做成四個(gè)等值的電阻的應(yīng)變?cè)瑯?gòu)成惠斯通電橋。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
薄膜型壓阻傳感器是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上而制成的。
擴(kuò)散型壓阻傳感器是在半導(dǎo)體材料的基片上利用集成電路工藝制成擴(kuò)散電阻。將P型雜質(zhì)擴(kuò)散到N型硅單晶基底上,形成一層極薄的P型導(dǎo)電層,再通過(guò)超聲波和熱壓焊法接上引出線就形成了擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片。
傳感器是自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)主要的自動(dòng)化裝置,其中還包括顯示器、數(shù)據(jù)處理裝置。它是用來(lái)感受被測(cè)量并且以一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可輸出信號(hào)的器件或裝置,還可以將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成一定且方便傳輸?shù)男盘?hào),如電信號(hào)或氣信號(hào)。

