這兩個概念主要出半導體加工過程中,最初的半導體基片(襯底片)拋光沿用機械拋光、例如氧化鎂、氧化鋯拋光等,但是得到的晶片表面損傷是極其嚴重的。直到60年代末,一種新的拋光技術——化學機械拋光技術(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了舊的方法。
硅片的化學機械拋光過程是以化學反應為主的機械拋光過程,要獲得質(zhì)量好的拋光片,必須使拋光過程中的化學腐蝕作用與機械磨削作用達到一種平衡。如果化學腐蝕作用大于機械拋光作用,則拋光片表面產(chǎn)生腐蝕坑、桔皮狀波紋。如果機械磨削作用大于化學腐蝕作用,則表面產(chǎn)生高損傷層。
應用領域 1、 光通訊領域,配合公司專門為光纖連接器開發(fā)的拋光產(chǎn)品,能達到超精細拋光效果,拋光后連接器端面沒有劃傷和缺陷,3D指標和反射衰減指標達到國際標準。 2、 硬盤基片的拋光,SiO2磨料呈球形,具有粒度均勻、分散性好、平坦化效率高等優(yōu)點。 3、 硅晶圓、藍寶石等半導體及襯底材料的粗拋和精拋,具有拋光速率高,拋光后易清洗,表面粗糙度低,能夠得到總厚偏差(TTV)極小的質(zhì)量表面。 4、其他領域的應用,如不銹鋼、光學玻璃等領域,拋光后能達到良好的拋光效果
如果說打蠟是代車漆護理品,那么封釉可以說是第二代,車漆鍍膜就是第三代的漆面護理技術了,即在車漆表面再涂鍍一層硬度高、彈性好、抗氧化的保護膜。記者在一家美容店又聽到了另一種聲音,“其實我的封釉就是鍍鏌的一種,同樣的道理,在車漆表面再涂鍍一層?!逼嚸廊菁紟熃榻B,雖然在這些名稱上有區(qū)分,但原理還是一樣,只是所用的材料及達到的效果不同而已。
新車買了之后就去封釉,可以留住車漆的艷麗、光彩永駐;舊車做封釉可以使氧化褪色的車漆還原增艷,頗有翻新的效果。車展上的樣車大多都經(jīng)過了封釉處理,因此看起來晶瑩剔透,光彩照人,所以車想要保護好自己的車,給自己的車長久的光彩,封釉是一個不錯的方法。
一些制樣技術對金剛石拋光劑的要求更高, 并且對一種特殊的制樣方法確切知道需要何種金剛石拋光劑是非常必要的。 對試樣的要求高意味對研磨劑要進行臨界選擇(多晶的金剛石, P) 但是只要一個可接受的試樣,使用價格便宜的金剛石產(chǎn)品(單晶金剛石, M)就足夠了。制樣時選擇金剛石產(chǎn)品,制樣的質(zhì)量、時間和成本都必須綜合起來考慮。
金剛石晶粒大小的分布與各晶粒大小之間的差距應盡可能的小,這是非常重要的。 因為如果在拋光劑中存在單個的金剛石大晶粒,那么試樣表面由它們形成的劃痕將無法在后道工序中消除。 反之,晶粒太小又不利于試樣的磨削。因此,控制粒度分布在金剛石產(chǎn)品的生產(chǎn)中是非常重要的。
