除了防止微塵進入，無塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)施，來確保無塵室內(nèi)的空氣潔凈度級別使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)正常運行中，維護也是必不可少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機軸承的運行是否處于正常狀態(tài)等。每一項都影響了系統(tǒng)的運行，因此不可遺漏。