含銦靶粉主要來源于電子、光電、半導體等行業(yè)生產(chǎn)過程中更換或損耗的濺射靶材。這些靶材通常由金屬銦或其合金制成,在使用后形成粉末狀或碎屑狀廢棄物料。廢靶粉中銦的含量依據(jù)不同生產(chǎn)工藝和應用領域存在差異,但其基本形態(tài)為灰黑色細粉,具有較高的化學活性,需妥善保存以避免氧化或污染。
ITO靶材回收技術的核心在于如何、經(jīng)濟地從復雜混合物中提取高純度的金屬。不同形態(tài)的廢料可能需要采用不同的回收工藝。
對于濺射后的廢舊靶材,由于表面結構發(fā)生變化,且可能含有其他雜質,需要特別設計的處理流程。而生產(chǎn)過程中的邊角料通常成分相對單一,處理起來更為簡便。
現(xiàn)代回收技術越來越注重環(huán)境友好性,努力減少化學試劑的使用量,提高試劑的循環(huán)利用率,同時妥善處理過程中產(chǎn)生的廢水、廢氣,確保整個回收過程符合環(huán)保要求。
盡管ITO靶材回收技術已經(jīng)相當成熟,但仍面臨一些挑戰(zhàn)。例如,不同來源的廢料成分差異較大,需要開發(fā)更靈活的處理工藝;回收過程中的能耗和物耗仍有降低空間;回收金屬的品質也需要持續(xù)提升,以滿足高端應用的需求。
隨著技術的不斷進步和環(huán)保意識的增強,資源回收利用將會在工業(yè)生產(chǎn)中扮演越來越重要的角色。而ITO靶材回收作為電子產(chǎn)業(yè)循環(huán)經(jīng)濟的重要組成部分,其發(fā)展值得我們持續(xù)關注。

