ITO靶材,全稱氧化銦錫靶材,是一種專門用于磁控濺射鍍膜的材料。氧化銦錫(簡稱ITO)是一種n型半導(dǎo)體材料,通常由90%的氧化銦(In?O?)和10%的氧化錫(SnO?)組成。這種材料以其的透明度和導(dǎo)電性,成為現(xiàn)代電子工業(yè)中不可或缺的組成部分。無論是智能手機的觸摸屏、平板電腦的顯示面板,還是太陽能電池的透明電極,ITO靶材都以其獨特的功能支撐著這些設(shè)備的運行。
制造ITO靶材是一項技術(shù)密集型的工作,涉及從原料配比到成型加工的多個環(huán)節(jié)。高質(zhì)量的ITO靶材需要具備高密度、均勻性和穩(wěn)定性,而這些要求背后隱藏著復(fù)雜的工藝和諸多挑戰(zhàn)。
制備完成后,ITO靶材在實際應(yīng)用中還會遇到一些問題:
濺射不均勻:如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過程中可能出現(xiàn)局部過熱,導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時,靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限,造成破裂,進而影響生產(chǎn)線的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴銦這種稀有金屬,而銦的全球儲量有限,價格波動較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
銦回收面臨的主要挑戰(zhàn)包括銦在電子設(shè)備中的低濃度和與其他金屬的合金化。傳統(tǒng)的回收方法難以有效提取,需要采用濕法冶金或火法冶金等先進技術(shù)。同時,回收過程中需確保電子廢物流的分類和處理,以減少污染物對回收過程的影響。

