在實(shí)際生產(chǎn)中,ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀,與濺射設(shè)備配合使用。濺射過程中,靶材的質(zhì)量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此,高質(zhì)量的ITO靶材不僅是技術(shù)要求,更是生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性的保障。
制備完成后,ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中還會遇到一些問題:
濺射不均勻:如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過程中可能出現(xiàn)局部過熱,導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時(shí),靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限,造成破裂,進(jìn)而影響生產(chǎn)線的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴銦這種稀有金屬,而銦的全球儲量有限,價(jià)格波動較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
區(qū)別對比
?成分差異:銦靶材為純金屬銦制成,而ITO靶材則是銦錫氧化物的復(fù)合物。
?用途不同:銦靶材主要用于需要高導(dǎo)電性和延展性的領(lǐng)域,如航空航天部件;ITO靶材則因其透明導(dǎo)電性廣泛應(yīng)用于光電顯示領(lǐng)域。
?性能特點(diǎn):銦靶材更側(cè)重于導(dǎo)電性和機(jī)械強(qiáng)度,而ITO靶材則兼顧導(dǎo)電性和光學(xué)透明性。
在堆積如山的廢棄手機(jī)、平板電腦和液晶顯示器深處,隱藏著一種被稱為“電子時(shí)代血脈”的稀有金屬——銦。它雖在自然界中蹤跡難尋,卻在ITO靶材(氧化銦錫)中扮演著不可替代的角色,驅(qū)動著全球億萬塊液晶屏幕的清晰成像。隨著電子產(chǎn)品更新?lián)Q代加速,一條從“電子垃圾”到“戰(zhàn)略資源”的銦回收產(chǎn)業(yè)鏈正悄然崛起,成為保障產(chǎn)業(yè)與生態(tài)可持續(xù)的關(guān)鍵密碼。

