先進封裝技術
應用:在芯片倒裝焊(Flip Chip)中作為焊料或熱界面材料,實現芯片與基板的電氣連接和熱傳導。
特點:低熔點(156.6℃)和高可靠性,適用于精密電子器件的低溫封裝。
航空航天與國防科技
1. 紅外探測與成像
用途:在紅外焦平面陣列(IRFPA)中作為芯片互連材料(如銦柱倒裝焊),實現探測器芯片與讀出電路的高密度連接。
場景:軍用夜視儀、衛(wèi)星遙感設備、熱成像儀等。
2. 高溫真空器件
應用:在航空航天用真空電子器件(如行波管、磁控管)中作為密封材料或電極鍍膜,利用銦的低蒸氣壓和抗腐蝕特性。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉靶可提升至 60% 以上。
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