平板顯示(LCD/OLED/Micro-LED)
核心用途:制備透明導(dǎo)電薄膜(如氧化銦錫,ITO),作為顯示面板的電極層和觸控層。
LCD:用于玻璃基板的 ITO 薄膜,實(shí)現(xiàn)像素電極的導(dǎo)電功能。
OLED/Micro-LED:作為柔性基板(如 PI 膜)的透明電極,滿足柔性顯示對(duì)材料延展性的要求。
市場(chǎng)占比:全球超過 70% 的銦靶材用于顯示面板生產(chǎn),是 LCD/OLED 產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵材料。
科研與前沿技術(shù)
1. 量子計(jì)算與超導(dǎo)器件
探索應(yīng)用:銦薄膜作為超導(dǎo)材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制備,利用其超導(dǎo)電性實(shí)現(xiàn)低損耗量子信號(hào)傳輸。
2. 柔性電子與可穿戴設(shè)備
技術(shù)方向:在柔性電路板(FPC)、電子皮膚中作為可拉伸導(dǎo)電薄膜,利用銦的高延展性滿足器件形變需求。
濺射時(shí)間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時(shí)間。
靶材利用率:避免過度濺射導(dǎo)致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時(shí)需及時(shí)更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。
靶材回收與再利用
回收價(jià)值:報(bào)廢銦靶(含濺射過程中產(chǎn)生的碎屑、廢膜)可通過化學(xué)溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達(dá) 95% 以上),降低生產(chǎn)成本。
環(huán)保要求:回收過程中產(chǎn)生的廢水需處理至重金屬排放標(biāo)準(zhǔn)(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。

