熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機械強度,同時有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結處理來提高其機械性能。
顯示領域:廣泛應用于液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導電薄膜,提高顯示器的性能和質量。
化合物半導體器件
場景:用于制造銦鎵砷(InGaAs)、銦磷(InP)等化合物半導體芯片,廣泛應用于 5G 通信基站、雷達、光纖通信等高頻電子設備。
作用:提升器件的高頻性能和可靠性,是 5G 毫米波芯片的核心材料之一。
靶材回收與再利用
回收價值:報廢銦靶(含濺射過程中產(chǎn)生的碎屑、廢膜)可通過化學溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達 95% 以上),降低生產(chǎn)成本。
環(huán)保要求:回收過程中產(chǎn)生的廢水需處理至重金屬排放標準(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。

